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產(chǎn)品與服務(wù) / 真空泵

六十載真空行業(yè)深耕細(xì)作
二十年干泵領(lǐng)域砥礪前行

國內(nèi)可批量應(yīng)用于12寸集成電路行業(yè)的干式真空泵龍頭制造企業(yè),產(chǎn)品目前已在國內(nèi)多家知名集成電路和光伏巨頭企業(yè)通過工藝驗(yàn)證并批量使用。

集成電路領(lǐng)域重要設(shè)備的自主可控

打破了歐美及日韓企業(yè)對(duì)同類產(chǎn)品的長期壟斷地位,實(shí)現(xiàn)集成電路產(chǎn)業(yè)核心零部件國產(chǎn)化“0”的突破,為全產(chǎn)業(yè)鏈國產(chǎn)化的貫通奠定了重要基礎(chǔ)。

企業(yè)介紹

技術(shù)突破

公司針對(duì)干式真空泵小型化、低能耗、高轉(zhuǎn)速、耐腐蝕、耐粉塵的需求特點(diǎn)進(jìn)行研發(fā)攻關(guān)并取得技術(shù)突破,
現(xiàn)已實(shí)現(xiàn)在 12 英寸集成電路制造工藝的成熟使用,實(shí)現(xiàn)了產(chǎn)品較高程度的可靠性、穩(wěn)定性、一致性。

產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)

整機(jī)高可靠性

產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)

穩(wěn)定的運(yùn)轉(zhuǎn)性能

產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)

高清潔度的真空環(huán)境

產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)

自適應(yīng)智能控制

產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)

工藝安全性

產(chǎn)品系列

羅茨干式真空泵

針對(duì)集成電路的薄膜沉積、刻蝕、離子注入制程(約占主要工藝過程的 70%),研發(fā)三大系列干式真空泵產(chǎn)品。 

螺桿干式真空泵

渦旋干式真空泵

應(yīng)用領(lǐng)域

APPLICATION AREA

干泵客服中心

SERVICE SUPPORT

沈陽科儀的干泵客服中心業(yè)務(wù)分為技術(shù)支持與售后服務(wù)兩個(gè)板塊,共同專注于提供客戶各種解決方案以滿足客戶的技術(shù)與生產(chǎn)需求。
為了提供更優(yōu)的服務(wù)體驗(yàn)我們?cè)诓粩嗟呐Α?/span>

產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)

技術(shù)支持

技術(shù)支持組集結(jié)了平均行業(yè)經(jīng)驗(yàn)大于10年的半導(dǎo)體
以及光伏行業(yè)的專家,
致力于針對(duì)不同工藝需求提供最優(yōu)的真空解決方案。

產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)

售后服務(wù)

售后服務(wù)組提供全方位的安裝,調(diào)試,
日常維護(hù)保養(yǎng),故障解決與跟蹤服務(wù)。
我們同時(shí)提供人員駐場(chǎng)服務(wù)以及時(shí)有效的解決客戶端問題,
以及全天候7*24小時(shí)的on call 服務(wù)以滿足客戶的產(chǎn)能需求。
售后電話:024-23826869 13889237273

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